某半导厂在加工期间中采用盐酸系显影液液,产生了较高浓度值含NOx废水操作方法,日操作量50吨。废水操作方法中含NO2-更是高达2000mg/L,且包含微量分析充分光刻胶基本成分,操作难度系数很大。
2. 生产废水基本成分及源于
显影液工艺技术废气(具体影响源)
晶圆清理生活污水
烟粉尘干洗塔排水障碍
3. 处里施工制作工艺步骤
选用"初级腐蚀+二级生物技术处里"不断创新加工:
活性氧防氧化
:能够 O3进行器产生了O3,将难溶解生产物化解为小原子物,同一将NO2-钝化为NO3-。
动物膜反應器(MBR)
:
首先级:缺氧怎么办工作环境下加药甲醇算作碳源,促进会反水解酸化反应迟钝
二是级:好氧生物技术膜进那步降解塑料有机的物
电电学广度加工
:选择钛基涂膜电极片,能够电解设备功用恢复原状分离残余物废弃物物。
4. 终于感觉
NOx总氮低于8mg/L下列
COD安稳在30mg/L元
生产废水使用率达60%
整体运营耗能设定在3.5kWh/吨水,较传统艺术技术发展节能环保20%。