该晶圆制作厂设在西北地方,主要是工作8屏幕尺寸半导晶圆,单日污废水 排出量约800吨。考虑到工作进程中食用广泛氢佛酸去晶圆蚀刻,形成污废水 中氟化物密度将高达200-300mg/L,远超中国排出细则(10mg/L之下)。
废污水营养成分及原因
废污水基本发源八个关键点:
晶圆蚀刻步骤
:含濃度值氟化物(HF)、盐酸及多量巨资属
化工机械制造打蜡 (CMP)工业废水
:含納米级硅粒子、可挥发络合剂
机器刷洗化工废水
:含异丙醇、氯离子等生产物
解决新工艺工作流程
采取"有机化学积淀自己+混凝土积淀自己+深浅油烟净化器"3级加工装置:
第一外理
:加药氯化钙和氢阳极氧化钙,组成氟化钙奠定,氟化物去掉率达85%
下级补救
:生成PAC(汇聚氯化铝)和PAM(聚乙烯酰胺),删去溶液态弄脏物
3级治疗
:经由多有机溶剂滤水器和活性氧炭吸出,水流氟化物含量可靠在8mg/L一下
最为关键的机器设备分为:pH自動可以调节程序、斜管滤渣池、板框压泥机(生活污水脱水过滤)。
最中特效
产品运作五年期探测数据库信息显示:
氟化物峰值溶液浓度:7.2mg/L(降到的国家基准)
COD删去率:92%
活性污泥水分含量率:≤65%
年回收运用氟化钙副货品约150吨,建立自然资源化再生运用