某半导体行业基带芯片生产制造厂在晶圆生产制造工作中,适用硅烷进行硅概念发育,氮氧化合物洗條塔产生了高酸度含硅废液治理 工艺。废液治理 工艺极具pH上下波动大(2-11)、硅含氧量高的基本特征,传统式治理 办法易有硅垢空气能管道堵塞困难。
废液有效成分及由来
废水处理方法其主要营养成分为:
熔化分解性硅酸盐
:SiO₂盐浓度达1000-1500mg/L
浓盐酸/氢阳极氧化钠
:清洗塔腐蚀性清洗液农药残留
小粒硅
:纳米级级SiO₂悬浊液
痕量砷
:材料杂物带进
外理加工注意事项
企业创新选取"二级采和+膜滤水+蒸发掉晶体"加工过程:
四级采和
:用CaO上下调整pH至4-5,制成硅酸钙沉积,硅的还原率60%。
二次元中合
:加Na₂CO₃将pH增强至9,进三步沉垫结余硅,串联用镁剂除砷。
反渗透膜控制系统
:0.02μm淘瓷膜油烟净化器奈米级硅颗料,通量稳定性高在80LMH。
MVR蒸馏器
:浓缩造成高盐化工废水,凝结出Na₂SO₄副车辆,水中水回用率超90%。
之后体验
总硅从1500mg/L减至5mg/L如下
砷水分含量从0.8mg/L下降0.01mg/L
软件无水垢启动可超过2年
第一年回收公司盐酸钠结晶体约800吨