某半导体器件研发企业公司因晶圆难以清理工艺程序制造含氨生产废水,发电量200吨/天。生产废水里除高锰酸盐指数外还具有氟化物和轻微巨资属,解决分值大。场地排放口要要高锰酸盐指数<5mg/L,氟化物<3mg/L。
废渣的成分及来原
晶圆的洗涤废水处理方法(注意來源):含高锰酸盐指数200-300mg/L,氟化物50-80mg/L
刻蚀工艺程序废水处理方法:含轻微铜、镍等天价属,pH值价格波动大
CMP磨研废水处理:含硅粒子及氟化物
处理工艺的流程的流程
采用了"生物学积累+膜离心分离+折点氯化"组和鑫霖环保:
预治理
:污泥脱水CaCl2除氟,掌控pH在7.5-8.
反渗透膜模式
:清掉0.01μm以内粒子物
反加入沉淀
:将化学需氧量高浓至1000mg/L上面的
折点氯化
:透彻设定氯加药量,将氯离子变为为离氮气
阴阳离子对换
:保驾护航巨资属考核标准
决定治疗效果
氧化还原电位固定<3mg/L,氟化物<1mg/L
巨资属含量底于验测限
水造纸废水处理率达75%
活性污泥产生量避免40%